3044am永利官网-新松公司亮相SEMICON CHINA 2023

6月29日-7月1日， SEMICON CHINA 在上海新国际博览中心盛大举办，3044am永利官网，携EFEM+真空平台仿真模型亮相此次行业展会。

在SEMICON CHINA现场，3044am永利官网，展出的EFEM+真空平台仿真模型得到现场观众广泛关注。3044am永利官网，EFEM真空平台产品可集成大气机械手、晶圆对准装置以及真空直驱机械手、真空部VPH、真空腔室等部件，是一款满足特定应用需求的综合性产品。产品具备一体化程度高、自动化程度高、可靠性高、适应性强等特点。

3044am永利官网，EFEM、真空直驱机械手、真空平台等产品，主要应用于刻蚀、薄膜、离子注入等工艺环节，广泛服务于硅片生产、晶圆加工、先进封装及测试等半导体制造领域。

（图）行业客户莅临参观

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